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钌靶 (Ru)
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钌及钌合金靶常通过真空溅射形成薄膜，作为半导体和数据存储层膜层。
元素符号
:
Ru
纯度
:
3N+
形状
:
平面靶
外观
:
银灰色金属
典范密度
:
12.33g/cm
3
(100Ru)
通例尺寸
:
Φ165 mm
其它尺寸可定制
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铂靶 (Pt)
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